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半导体缺陷检测

光学检测技术基于光学原理，通过对光信号进行计算分析获得检测结果，光学检测技术对晶圆的非接触检测模式使其具有对晶圆本身的破坏极小的优势；通过对晶圆进行批量、快速的检测，能够满足晶圆制造商对吞吐能力的要求。