光学检测技术基于光学原理,通过对光信号进行计算分析获得检测结果,光学检测技术对晶圆的非接触检测模式使其具有对晶圆本身的破坏极小的优势;通过对晶圆进行批量、快速的检测,能够满足晶圆制造商对吞吐能力的要求。
半导体缺陷检测

单模块4通道输出,各通道输出0.2~5W;模块化设计,支持6个模块;寿命期间具有高稳定性;NTC温度监测;结构紧凑,重量轻。

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光固化激光

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激光的高相干性导致照明面存在散斑,在检测领域降低了图像对比度,干扰测量结果。消散斑激光器有效的降低散斑,保证了测量数据的准确性。本产品兼容UV、可见光;一体化设计,即插即用;高效率,光效损失低。

激光散斑抑制模组

光谱半高宽大于1.5nm,散斑低高稳定性,小于0.5%8Hr, 低噪声,小于0.05%;高光束质量,光纤直径3.5μm;可实现高频调制。

高稳定宽光谱激光光源

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TEC风冷激光光源

空间耦合技术,峰值波长为405nm;重量轻,结构紧凑且易于维护;寿命长,超过10000小时;输出功率3.2W-120W;具有高稳定性。

在高反射金属上的吸收率是红外激光的3-20倍;在焊接Cu、Au、AL金属过程中没有飞溅,提升焊接质量;蓝光激光器和红外激光器结合可极大提高效率和降低成本。

25w 455nm激光光源

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空间耦合技术,波长402±3nm,输出功率>2W;功率稳定输出,模块化设计,维护简单;光源采用 24V 直流电源,通过连接器进行连接,能够直接与用户系统设备进行集成。

405nm空间耦合激光器

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