• 根据被曝光面起伏，自动快速调整焦距，调教范围±300um，控制精度10um；
• 高功率激光光源，导致镜头离焦，可自动补偿温度影响；
• AF采用外置方案，不影响原镜头设计；
• 曝光光机往返运动，均可用；
• 大NA镜头曝光微纳线宽，补偿镜头焦深小和工件波动带来的聚焦清晰度影响。

系统规格

楔形镜调节范围

楔形镜调节速度

定位精度

重复精度

调节线性度

响应速度

参数

±300um

Max.10mm/s

±10um

±2um

5um@300um调节范围

＜20ms

尺寸图